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南大光電:公司ArF光刻膠產品已通過存儲芯片/邏輯芯片制造企業(yè)驗證

2022-04-14
來源:OFweek電子工程網

4月14日,南大光電在接受機構調研時表示,公司研發(fā)的ArF光刻膠主要定位于90nm-28nm集成電路的制程應用,公司ArF光刻膠產品分別通過一家存儲芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的驗證,目前多款產品正在多家客戶同時進行認證。

南大光電表示,目前公司有多款ArF光刻產品在國內大型芯片制造企業(yè)進行測試。光刻膠是客制化產品,技術含量高,驗證周期長,且體量不大。因為是替代進口,所以我們研發(fā)的產品需要適應客戶端的工藝參數,留給我們的調整空間很小,所以驗證難度大。目前驗證進展順利,預計今年年底會有幾款產品通過驗證。公司也將抓緊推進市場拓展工作,爭取盡快實現批量銷售。

據了解,早在2016年,南大光電參股了北京科華微電子材料有限公司,便開始了研發(fā)“193nm光刻膠項目”,并且該公司是唯一一家通過了EUV光刻膠“02專項”研發(fā)的企業(yè)。彼時,南大光電便宣稱,計劃用3年的時間實現ArF光刻膠產品的建設、投產和銷售,最終達到年產25噸193nm ArF光刻膠產品的生產規(guī)模。

此外,有投資者問到,公司三大主線產品MO源,特氣和ARF光刻膠,在國內的市場容量分別有多大?公司這三大產品在國內市場的占比分別是多少?公司未來能拓展的三大產品市場容量分別有多大空間?

南大光電表示,公司各類產品市場占有率如下:MO源:國內約40%;前驅體:國內約8%;氫類電子特氣:國內約60%;氟類電子特氣:三氟化氮國內市占率約為35%,國外市占率約為10%;六氟化硫主要在國內銷售,市占率約為20%。

同時,南大光電還在努力實施MO源2.0計劃,通過技術創(chuàng)新不斷優(yōu)化產品和客戶結構,先進前驅體材料如28nm和14nm制程前驅體、硅前驅體等產品研發(fā)和產業(yè)化取得重要突破;氫類電子特氣在技術、品質、產能和銷售各方面已躍居世界前列;氟類電子特氣方面公司加快烏蘭察布“試驗田”建設,為建設“世界單項冠軍”產品奠定堅實的基礎。




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