10 月 16 日消息，半導體設(shè)備巨頭 ASML 在當?shù)貢r間 15 日宣布 2025Q3 財報的同時表示，其實現(xiàn)了企業(yè)首款服務(wù)于先進封裝的產(chǎn)品 —— TWINSCAN XT:260 光刻機的出貨。
XT:260 是一款采用 i 線光源的圖案化設(shè)備，分辨率為 400nm，通過相場和劑量上的改進擁有此前機臺 4 倍的生產(chǎn)效率，在 340mJ 劑量下每小時可處理 270 片晶圓，將為 ASML 客戶在 3D 集成領(lǐng)域的需求提供支持。
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