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谐振微悬臂梁传感器的工作原理及其在生化检测中的研究进展
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EV集团（EVG）通过下一代分步重复光刻纳米压印系统实现敏捷高效的规模生产
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你真的懂MEMS吗？
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MEMS新技术实现便携式高清投影显示
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利用3D列印打造低成本MEMS
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【重磅】UV LED技术重大应用领域汇总
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Mouser备货 Murata微型ZPA系列电容式MEMS压力传感器 高精度、低功耗应用的不二之选
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穿戴式/无人机潜力佳 动作传感器另辟新天地
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MEMS市场需求蓬勃 软 硬件业者联手打造生态系
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18吋晶圆技术成本过高 12吋将续为业者主力
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物联网亟需MEMS传感器创新
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Fairchild 推出MEMS（微机电系统）产品系列， 引入了采用高性能九轴传感器融合的智能 IMU（惯性测量单元 ）
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Innovative Micro Technology 与中国物联网研究发展中心达成合作意向以完善中国MEMS产业链
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欧胜推出首批高性能且带有匹配 频率响应的顶部和底部端口硅MEMS麦克风
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微/纳机电系统发展特点及前景
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意法半导体陀螺仪产品全球市场份额超过60%
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ERG研发项目提高太阳能利用率，实现“环保社会，绿色能源”
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汽车都有哪些MEMS应用
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ADI公司iMEMS技术应用于高精度箭术运动
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基于MEMS的无线鼠标设计方案
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基于微加速度传感器的无线鼠标的设计
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MEMS传感器及应用
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VTI科技：MEMS传感器市场面临空前机遇
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GLOBALFOUNDRIES与SVTC合作，加速推动微机电系统(MEMS)晶圆量产
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MEMS惯性器件发展及趋势
發(fā)表于：2010/5/25 上午12:00:00
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微机电系统(MEMS) 简述
發(fā)表于：2010/5/25 上午12:00:00
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ADI公司的第四代高性能低功耗MEMS陀螺仪支持恶劣工业环境的应用
發(fā)表于：2010/5/12 上午12:00:00
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欧胜以全新数字MEMS麦克风系列步入发展新阶段
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意法半导体（ST）推出MotionBee远程运动控制平台
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Point 35 Microstructures将氧化物释放技术添加到汽相MEMS制造系列
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