根據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會對國內35家主要半導體設備制造商的統(tǒng)計，2014年半導體設備完成銷售收入40.53億元，同比增長34.5%;實現(xiàn)利潤8.48億元，同比增長13.8%;出口交貨值4.41億元，同比增長50.5%。

　　其中，太陽能電池設備完成銷售收入14.66億元，同比增長11.48%;出口交貨值996.2萬元，同比增長-23.77%。集成電路設備完成銷售收入15.96億元，同比增長54.35%;出口交貨值4.23億元，同比增長44.4%。LED設備完成銷售收入7.14億元，同比增長26.15%;出口交貨值305.1萬元，同比增長了76.99%。

　　2014年中國半導體設備新進展中還有三大亮點。

　　一是12英寸28~15納米去耦合反應等離子體刻蝕機等14項集成電路設備通過工藝考核，達到量產(chǎn)，并實現(xiàn)了銷售。

　　二是LED(照明)生產(chǎn)線關鍵設備MOCVD、刻蝕機、PVD、CVD等2014年銷售51臺，實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。

　　三是全自動單晶制絨酸洗綜合設備等7項全自動化、高轉換效率新型晶硅太陽能電池生產(chǎn)設備成功進入生產(chǎn)線。

　　展望2015年半導體設備制造業(yè)，預計2015年主要半導體設備制造商銷售收入將增長25%左右，達到50億元左右。

　　其中，集成電路設備將繼續(xù)保持快速增長。2015年，在02專項和國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金的支持下，更多的國產(chǎn)集成電路設備將進入大生產(chǎn)線，國產(chǎn)集成電路設備的國內外市場將繼續(xù)得到增長。

　　而LED生產(chǎn)線設備有望實現(xiàn)國產(chǎn)化。2015年，在國家電子發(fā)展基金的支持下，國產(chǎn)LED設備將全面進入6家LED制造商的生產(chǎn)線中，這無疑將加快LED設備國產(chǎn)化的進程。

　　太陽能電池生產(chǎn)設備將繼續(xù)小幅增長。2015年，國家繼續(xù)擴大國內光伏市場，光伏行業(yè)年度增長率目標將超過70%。中國已成為全球光伏產(chǎn)業(yè)最大的終端市場，光伏企業(yè)將加快淘汰落后生產(chǎn)線設備、擴大產(chǎn)能。這將給我國太陽能電池設備制造商帶來新的發(fā)展機遇。