據(jù)發(fā)展北京消息，位于北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)金橋科技產(chǎn)業(yè)基地的江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目近期剛剛開(kāi)工。據(jù)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人介紹，目前正在進(jìn)行工業(yè)廠房土方開(kāi)挖，下一步將開(kāi)始打樁作業(yè)，預(yù)計(jì)項(xiàng)目將于2022年底前竣工。

　　未來(lái)，江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目將建成一條用于半導(dǎo)體、平板顯示器產(chǎn)業(yè)的高純金屬靶材及零部件生產(chǎn)線，年產(chǎn)能將達(dá)到55000件，最終實(shí)現(xiàn)超高純Al、Ti、Ta、Cu、W、Mo等靶材以及設(shè)備關(guān)鍵部件的規(guī)模生產(chǎn)與銷(xiāo)售。

　　濺射靶材是集成電路裝配的重要基礎(chǔ)原材料。北京商報(bào)指出，至2022年底項(xiàng)目完成后，廠內(nèi)濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件將進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)階段，未來(lái)將供給中芯國(guó)際，用于半導(dǎo)體、顯示面板等裝配。

　　據(jù)負(fù)責(zé)人介紹，目前，其提供的基礎(chǔ)零部件已經(jīng)基本達(dá)到國(guó)內(nèi)一流水平，靶材精度最高可實(shí)現(xiàn)5納米。

　　據(jù)悉，江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目系江豐集團(tuán)落地北京的首個(gè)生產(chǎn)廠房。在此之前，江峰集團(tuán)已經(jīng)在湖南益陽(yáng)、廣東惠州等地建廠，供給客戶包括中芯國(guó)際、京東方等。

　　資料顯示，江豐電子主要從事超大規(guī)模集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材的研發(fā)生產(chǎn)，起研發(fā)生產(chǎn)的超高純金屬濺射靶材填補(bǔ)了中國(guó)在這一領(lǐng)域的空白，結(jié)束了產(chǎn)品依賴進(jìn)口的歷史，成功獲得了國(guó)際一流芯片制造廠商的認(rèn)證，并在全球先端5nm FinFET （FF+）技術(shù)超大規(guī)模集成電路制造領(lǐng)域批量應(yīng)用，成為電子材料領(lǐng)域成功參與國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的中國(guó)力量。