12月25日消息，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的發(fā)展?fàn)縿?dòng)著很多人的心，每一個(gè)進(jìn)展都很容易成為焦點(diǎn)，今天采購(gòu)網(wǎng)站上赫然出現(xiàn)了上海微電子中標(biāo)光刻機(jī)的消息。

在中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)上，編號(hào)zycgr22011903的采購(gòu)公告中提到科技部以單一來(lái)源方式采購(gòu)了一臺(tái)步進(jìn)掃描式光刻機(jī)，中標(biāo)金額約1.099億元，中標(biāo)方是上海微電子公司，貨物型號(hào)為SSC800/10。

截至發(fā)稿時(shí)，這個(gè)中標(biāo)公告還在，但詳情頁(yè)已經(jīng)無(wú)法打開(kāi)了。

上海微電子的SSC800型號(hào)之前沒(méi)有公布過(guò)，有印象的網(wǎng)友還記得前兩年網(wǎng)上流傳過(guò)SSA800的型號(hào)，號(hào)稱是一臺(tái)28nm光刻機(jī)，SSC800的型號(hào)跟這個(gè)系列有可能是同代技術(shù)產(chǎn)品。

不過(guò)嚴(yán)格來(lái)說(shuō)28nm光刻機(jī)的說(shuō)法是錯(cuò)誤的，至少是不準(zhǔn)確的，光刻機(jī)一次曝光的分辨率沒(méi)有這么高，SSC800也是110nm，套刻精度15nm。

2024年9月份，工信部公布過(guò)《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》，提到的氟化氬光刻機(jī)有2種，光源都是193納米，但是浸潤(rùn)式的型號(hào)分辨率≤65nm，套刻≤8nm，干法型號(hào)分辨率≤110nm，套刻精度≤25nm。

這次上海微電子中標(biāo)的型號(hào)應(yīng)該屬于干法光刻機(jī)，還不是大家預(yù)期中那種非常厲害的產(chǎn)品。