近日，上海威耀實(shí)業(yè)有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“威耀實(shí)業(yè)”）發(fā)生股東重大變更。國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)廠商上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“上海微電子”）原本是威耀實(shí)業(yè)是100%控股股東，但現(xiàn)在已經(jīng)全面退出，上海芯上微裝科技股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“芯上微裝”）則成了威耀實(shí)業(yè)的100%控股股東，認(rèn)繳出資額同樣為2.285億元。

公開(kāi)資料顯示，威耀實(shí)業(yè)成立于2003年，是一家從事有色金屬冶煉和壓延加工業(yè)為主的企業(yè)，此前其為上海電氣控股集團(tuán)成員。2016年1月，上海微電子成為其100%控股股東。

官網(wǎng)顯示，芯上微裝成立于2025年02月08日，是一家專(zhuān)注于高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)、生產(chǎn)和服務(wù)的創(chuàng)新型科技企業(yè)。公司致力于為“超越摩爾”賽道的芯片制造、芯片先進(jìn)封裝、三代半導(dǎo)體和新型顯示等核心領(lǐng)域提供高精度、高性能、高可靠性的設(shè)備解決方案。

公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)約600人，平均年齡33歲，65%為碩士博士學(xué)歷；擁有上海市勞動(dòng)模范、上海市優(yōu)秀技術(shù)帶頭人、上海市青年科技啟明星計(jì)劃、上海市產(chǎn)業(yè)菁英領(lǐng)軍人才，以及浦東明珠計(jì)劃人才/工程師等高層次人才十?dāng)?shù)人。

值得注意的是，2025年8月8日，芯上微裝舉辦了第500臺(tái)步進(jìn)光刻機(jī)交付儀式。此次發(fā)運(yùn)的“第500臺(tái)步進(jìn)光刻機(jī)”將交付給盛合晶微半導(dǎo)體（江陰）有限公司。盛合晶微是全球領(lǐng)先的集成電路晶圓級(jí)先進(jìn)封測(cè)企業(yè)。

2025年11月25日，芯上微裝又宣布，公司自主研發(fā)的首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)（AST6200 ）正式完成出廠調(diào)試與驗(yàn)收，啟程發(fā)往客戶現(xiàn)場(chǎng)。芯上微裝表示，這標(biāo)志著我國(guó)在高端半導(dǎo)體光刻設(shè)備領(lǐng)域再次實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵突破！這不僅是一次產(chǎn)品的交付，更是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備向高端化、自主化邁進(jìn)的重要里程碑。

那么為什么一家剛剛在2025年2月成立新公司，在幾個(gè)月之后就完成了第500臺(tái)步進(jìn)光刻機(jī)的交付呢？業(yè)內(nèi)信息顯示，芯上微裝似乎是國(guó)產(chǎn)光刻廠商上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司分拆出來(lái)的獨(dú)立公司，擬募資獨(dú)立IPO。

根據(jù)企查查資料顯示，芯上微裝注冊(cè)資本金1.75億元，擁有股東29位，其中上海張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“張江浩成”）持股14.197%，是單一第三大股東。張江浩成是張江高科的全資子公司。