《電子技術(shù)應(yīng)用》
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新一代国产高频飞秒激光剥蚀系统成功研制

2026-04-03
來源:科技日报
關(guān)鍵詞: 广州拓岩 精密制造 激光剥蚀

激光剝蝕系統(tǒng)是地球科學(xué)、材料科學(xué)等學(xué)科原位微區(qū)元素—同位素測試分析的基礎(chǔ)進(jìn)樣設(shè)備,直接決定了分析測試的空間分辨率和測試精度。記者4月2日獲悉,廣州拓巖精密制造有限公司(以下簡稱廣州拓巖)技術(shù)團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了激光光源、衰減器、振鏡等核心部件的國產(chǎn)化,近日成功研制出新一代國產(chǎn)高頻飛秒激光剝蝕系統(tǒng)——Geo Ablate 343。該設(shè)備搭載自主開發(fā)的“高頻飛秒激光采集和控制系統(tǒng)”,實(shí)現(xiàn)了從硬件到軟件的全流程自主可控。

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近年來,隨著石英、螢石等難剝蝕礦物測試需求的日益增加,以及高純石英等戰(zhàn)略礦產(chǎn)資源開發(fā)的不斷深入,常用的193納米或213納米納秒激光剝蝕系統(tǒng)因其熱效應(yīng)顯著、剝蝕精度瓶頸、運(yùn)行成本偏高等痛點(diǎn),難以滿足科研與產(chǎn)業(yè)的高端應(yīng)用需求。飛秒激光剝蝕系統(tǒng)因其熱效應(yīng)低,成為解決上述問題的最佳方案。

然而,傳統(tǒng)飛秒激光剝蝕系統(tǒng)難以突破束斑較小、能量密度低且校準(zhǔn)維護(hù)困難的技術(shù)瓶頸,且面臨進(jìn)口設(shè)備及軟件高昂的維護(hù)成本、操作復(fù)雜與算法受限等多重壁壘。

為解決技術(shù)難題,技術(shù)團(tuán)隊(duì)創(chuàng)造性地引進(jìn)了高頻飛秒激光設(shè)計(jì)思路。研發(fā)團(tuán)隊(duì)一體推進(jìn)國產(chǎn)配件篩選、硬件系統(tǒng)搭建、電子系統(tǒng)集成、軟件系統(tǒng)控制編寫等,最終成功研制出Geo Ablate 343。

“Geo Ablate 343的核心競爭力在于其對傳統(tǒng)激光剝蝕系統(tǒng)技術(shù)原理的革命性創(chuàng)新?!睆V州拓巖總經(jīng)理?xiàng)钬共ń榻B,與市場上常用的激光剝蝕系統(tǒng)相比,該設(shè)備具備飛秒激光剝蝕的全部核心優(yōu)勢。

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