《電子技術(shù)應(yīng)用》
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加速度传感器原理

2008-05-23
作者:MEMSIC

MEMSIC器件是基于單片CMOS集成電路制造工藝" title="制造工藝">制造工藝而生產(chǎn)出來的一個完整的雙軸" title="雙軸">雙軸加速度測量系統(tǒng)" title="測量系統(tǒng)">測量系統(tǒng)。就像其它傳感器" title="加速度傳感器">加速度傳感器有重力塊一樣,MEMSIC器件是以可移動的熱對流小氣團(tuán)作為重力塊器件,通過測量由加速度引起的內(nèi)部溫度的變化來測量加速度。

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加速度傳感器原理.pdf

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