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KLA-Tencor 的 SensArray 分部高級(jí)副總裁兼總經(jīng)理 Larry Wagner 表示：“PlasmaVolt X2 是對(duì)我們的 SensorWafer 系列的重要補(bǔ)充，現(xiàn)在，工程師能夠在等離子室內(nèi)獲得獨(dú)一無(wú)二，且與等離子效應(yīng)相關(guān)的晶圓級(jí)" title="晶圓級(jí)">晶圓級(jí)的指紋特征。PlasmaVolt X2 是現(xiàn)今唯一可用的晶圓級(jí)等離子狀況測(cè)量方式。”?
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今天的蝕刻工程師面臨著匹配蝕刻室，以在整個(gè)工具集內(nèi)獲得一致性能的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，而蝕刻性能則取決于對(duì)眾多工藝參數(shù)的控制，包括等離子均勻度。隨著半導(dǎo)體行業(yè)向高級(jí)設(shè)計(jì)規(guī)則遷移，制程時(shí)間窗口持續(xù)縮短，這讓等離子對(duì)參數(shù)的細(xì)微變化越來(lái)越敏感。目前，需要在產(chǎn)品或樣本晶圓上頻繁地測(cè)量蝕刻率和均勻度，此程序可能長(zhǎng)達(dá) 12 小時(shí)。在工程師無(wú)法看到蝕刻序列中其它步驟的情況下，這種晶圓測(cè)試為整個(gè)蝕刻流程僅產(chǎn)生一個(gè)結(jié)果。 ?
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PlasmaVolt X2 可測(cè)量等離子室中的“晶圓上”效應(yīng)，并提供整個(gè)蝕刻流程中關(guān)于等離子行為的詳細(xì)信息。測(cè)量后可立即得到結(jié)果，將獲取結(jié)果的時(shí)間縮短了幾個(gè)小時(shí)。有了這些完整的等離子室信息，蝕刻工程師現(xiàn)在將能比較整個(gè)晶圓廠內(nèi)的等離子室，并進(jìn)行必要的工藝調(diào)整。在機(jī)臺(tái)監(jiān)控、機(jī)臺(tái)檢驗(yàn)及工藝開發(fā)應(yīng)用方面，PlasmaVolt X2 搭配 KLA-Tencor 專為溫度測(cè)量而設(shè)計(jì)的 PlasmaTemp G4，成為有效映射完整等離子室的最佳工具。?
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關(guān)于 KLA-Tencor：KLA-Tencor 公司是專為半導(dǎo)體和相關(guān)微電子行業(yè)提供工藝控制及良率管理解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。該公司總部設(shè)在美國(guó)加州的 Milpitas，銷售及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全球。KLA-Tencor 躋身于標(biāo)準(zhǔn)普爾 500 強(qiáng)公司之一，并在納斯達(dá)克股票市場(chǎng)上市交易，其股票代碼為 KLAC。有關(guān)該公司的更多信息，請(qǐng)?jiān)L問 http://www.kla-tencor.com。(KLAC-P)?
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PlasmaVolt 和 SensorWafer 是 KLA-Tencor 公司的商標(biāo)。?