上海宏力半導體制造有限公司 (宏力半導體)，專注于差異化技術的半導體制造業(yè)領先企業(yè)之一，近日發(fā)布了國內(nèi)首個適用于模擬集成電路和電源管理集成電路的0.18微米電壓可調(diào)CDMOS(CMOS、LDMOS 及高壓Bipolar)制程。
　
　　與標準0.5和0.35微米的電源管理CDMOS制程相比，宏力半導體的最新0.18微米電壓可調(diào)CDMOS擁有更為緊湊的設計規(guī)則和包括STI、Co silicide和ONO spacer等在內(nèi)更為先進的工藝模塊，從而可以減小單元尺寸并提高芯片的性能。由5V電壓驅(qū)動的高壓LDMOS器件的dual-gate解決方案建立在0.18微米CMOS低壓邏輯制程上，由此可以促進智能電源管理產(chǎn)品的開發(fā)。
　
　　該制程可調(diào)電壓的范圍是NLDMOS(12V-60V)和PLDMOS(12V-45V)，其卓越的連續(xù)可調(diào)特性適用于對電壓有不同要求的電源管理應用?？蛻艨稍谕粋€工藝平臺上調(diào)節(jié)ESD和Latch up，而無需在不同電壓的平臺上進行工藝的調(diào)整。
　
　　宏力半導體還特別為這個制程研發(fā)了一整套功能豐富的模型，以支持全程電壓可調(diào)LDMOS晶體管的工作電壓和相關幾何參數(shù)。與此同時，為工藝平臺配套的設計工具包(PDK)提供的Pcells可以讓設計師基于用戶輸入的最大工作電壓(Vdsmax)、和多指結(jié)構中的指寬度和指數(shù)目而設計出晶體管的版圖。此外，該設計工具包的關鍵之處在于應用Rdson(導通電阻)的輸入、最大工作電壓和布局風格的功率單元之合成，從而用戶可以很方便地合成輸出功率單元的版圖。
　
　　低Rdson提供了極高的工作效率并允許高負載電流，由此芯片的功耗將減小到最低值。此外，宏力半導體還為電源管理芯片提供了多種工藝選項，包括高壓Bipolars、Zener二極管、 Schottky二極管、頂層厚鋁、懸浮NLDMOS、MIM電容、多晶硅高阻值電阻和OTP。
　
　　“宏力半導體是國內(nèi)第一家成功研發(fā)0.18微米電壓可調(diào)CDMOS制程及其設計工具包的晶圓代工廠。該工藝的優(yōu)勢在于通過高壓Bipolar器件就可滿足目前很多必須使用復雜的BCD工藝的應用需求，由此可幫助客戶極大地優(yōu)化其產(chǎn)品的成本結(jié)構。”銷售市場及服務資深副總裁衛(wèi)彼得博士說，“另外，由于其電壓可調(diào)及擁有多個工藝選項的特性，可以加速設計周期，為客戶縮短產(chǎn)品投放市場的時間。這個新工藝應用十分廣泛，例如電源管理、LED驅(qū)動、音頻芯片和馬達控制。”