半導體制程之一:光刻 (大學教材) | |
所屬分類:教程|講義 | |
上傳者:zhoubin333 | |
文檔大小:1416 K | |
標簽: 半導體 光刻 | |
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文檔介紹: 半導體制程之一:光刻 (大學教材) 講解最基礎(chǔ)的光刻 半導體五大制程:光刻(或稱微影/黃光), 蝕刻, 薄膜, 擴散, 化學機械研磨 | |
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