半導體制程之一:光刻 (大學教材)
所屬分類:教程|講義
上傳者:zhoubin333
文檔大小:1416 K
標簽: 半導體 光刻
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文檔介紹:  半導體制程之一:光刻 (大學教材)   講解最基礎(chǔ)的光刻   半導體五大制程:光刻(或稱微影/黃光), 蝕刻, 薄膜, 擴散, 化學機械研磨
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