基于感应耦合比率臂的高精度位移测量系统
所屬分類：技术论文
上傳者：aet
文檔大小：224 K
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文檔介紹：讨论了比率测量方法的优点，介绍了运用感应耦合比率臂和差动式电容位移传感器设计的高精度微小位移测量系统。给出了一种实验系统的设计例子和主要的测试结果，说明了该设计在小位移测量中的有效性。
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