高速激光點陣光刻機的設計 | |
所屬分類:參考設計 | |
上傳者:aet | |
文檔大?。?span>477 K | |
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文檔介紹:為了制作大尺寸激光防偽商標,開發(fā)了高速激光點陣光刻機。該光刻機以工控機為上位機,ARM LPC2138和單片機STC12C5401AD為下位機,采用直線電機直接驅動X-Y工作臺,實現(xiàn)了高速高精度定位。 | |
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