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??? 蘇格蘭利文斯頓，2009年3月11日—全球微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）產(chǎn)業(yè)蝕刻和沉積設(shè)備供應(yīng)商Point 35 Microstructures，今天宣布將于3月17-19日在于上海舉行的SEMICON China 2009上推出其新型memsstar制造系統(tǒng)。與此同時(shí)，公司還將發(fā)布其中國(guó)市場(chǎng)營(yíng)銷和服務(wù)戰(zhàn)略。?
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??? 中國(guó)新的工業(yè)化進(jìn)程正在推動(dòng)著許多無晶圓廠半導(dǎo)體公司和先進(jìn)元件公司對(duì)MEMS技術(shù)與產(chǎn)品更多的關(guān)注。例如，2008年中國(guó)的制造廠商生產(chǎn)了大約932萬輛汽車和5.6億部移動(dòng)電話，因此中國(guó)正在成為諸如速度傳感器和硅麥克風(fēng)這樣的MEMS器件最重要的市場(chǎng)之一?，F(xiàn)在，MEMS更多的應(yīng)用領(lǐng)域正在不斷涌現(xiàn)，這類產(chǎn)品可以廣泛應(yīng)用在諸如移動(dòng)通信、計(jì)算機(jī)、消費(fèi)電子、醫(yī)療器械和工業(yè)電子等等領(lǐng)域中。?
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??? 為了滿足這些市場(chǎng)需求，Point 35將其新型MEMS平臺(tái)和完善的服務(wù)帶到了中國(guó)。該公司的memsstar除了以可靠性著稱外，該系統(tǒng)還可以用于不同類型的MEMS產(chǎn)品，并可覆蓋從開發(fā)到批量生產(chǎn)的各個(gè)階段。Point 35正在中國(guó)建立它的服務(wù)體系以支持本土潛在的memsstar?合作伙伴，還將與其中國(guó)本土分銷商WESI Technology公司一起參加SEMICON China 2009，其展位號(hào)為#4722。?
? ?“全球MEMS產(chǎn)業(yè)越來越需要用于釋放刻蝕和涂敷的創(chuàng)新性研究和制造設(shè)備解決方案，而這個(gè)領(lǐng)域在memsstar?出現(xiàn)之前還是一片空白?！盤onit 35 Microstructures的營(yíng)銷副總裁和共同創(chuàng)始人Tony McKie說：“MEMS產(chǎn)品在中國(guó)具有廣闊的發(fā)展前景，因此我們來到SEMICON中國(guó)并將展示我們最先進(jìn)的系統(tǒng)。我們期待著與中國(guó)的合作伙伴一起，共同建立一個(gè)強(qiáng)大的MEMS開發(fā)和制造產(chǎn)業(yè)?！?
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??? memsstar采用汽相單晶圓工藝來完成大部分MEMS器件所需要的釋放腐蝕和表面修正工藝步驟。它采用獨(dú)特的CCFT?工藝控制技術(shù)和廣泛的化學(xué)品，用戶得到了拓寬的工藝窗口和集成的工藝控制，這遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了其它現(xiàn)有的系統(tǒng)和方法。各種memsstar?系統(tǒng)以低入門級(jí)成本提供了快速的產(chǎn)能、小體積、低消耗和低排放、可擴(kuò)展平臺(tái)、工藝控制和高重復(fù)性。系統(tǒng)配置可以匹配到從研發(fā)到大批量生產(chǎn)的任何一種情況，實(shí)現(xiàn)在各種環(huán)境之間的無縫轉(zhuǎn)接。具體的應(yīng)用包括運(yùn)動(dòng)傳感器、微顯示器、硅麥克風(fēng)、流體通道、測(cè)輻射熱計(jì)陣列、壓力傳感器等等。?
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關(guān)于Point 35 Microstructures
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??? Point 35 Microstructures由四位經(jīng)驗(yàn)豐富的半導(dǎo)體制造專家于2003年成立，以提供一流的全規(guī)格翻新半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備和服務(wù)起家，所提供的翻新后系統(tǒng)不僅具有性能保障，而且還通過了最新的CE標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。該公司尤其擅長(zhǎng)于應(yīng)用材料公司、Lam研究所和Novellus系統(tǒng)等廠商的設(shè)備。?
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??? Point 35 Microstructures于2004年推出了MEMS制造系統(tǒng)memsstar專有品牌。這些MEMS工藝設(shè)備和現(xiàn)場(chǎng)工藝集成專業(yè)知識(shí)確保了客戶可以成功地過渡到集成干法工藝，并且能夠覆蓋從MEMS器件的研發(fā)到大批量制造等各階段。?
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??? 2006年，國(guó)家微電子研究所授予該公司最具創(chuàng)新性公司稱號(hào)。?
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