8月11日,徐州博康信息化學(xué)品有限公司工商信息發(fā)生變更,新增深圳哈勃科技投資合伙企業(yè)(有限合伙)為股東。

工商信息顯示, 上市公司華懋科技通過東陽凱陽科技創(chuàng)新發(fā)展合伙企業(yè),間接持有徐州博康24%的股份。根據(jù)華懋科技2021年07月21日披露的公告《華懋(廈門)新材料科技股份有限公司關(guān)于公司參與的合伙企業(yè)對外投資進展公告》,華為哈勃(即公告中提到的合格投資者)的投資金額為3億元,為華為哈勃歷史上最大單筆半導(dǎo)體投資。
光刻膠被稱為半導(dǎo)體材料皇冠上的明珠,由于國產(chǎn)化率低同時產(chǎn)品保質(zhì)期只有6-8個月,光刻膠成了目前國內(nèi)芯片制造領(lǐng)域最卡脖子的材料之一。2021年5月27日,一則信越化學(xué)已向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠,且已通知更小規(guī)模晶圓廠停止供貨KrF光刻膠的消息震驚產(chǎn)業(yè)界。光刻膠缺貨在信越停產(chǎn)之前已有表現(xiàn),信越事故加劇市場供需失衡,國產(chǎn)替代的迫切需求再次被擺在聚光燈下。
公開資料顯示,徐州博康具有自主完整的光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈,已實現(xiàn)從單體材料、專用樹脂、光酸以及最終光刻膠產(chǎn)品的全品類國產(chǎn)化。與其他半導(dǎo)體光刻膠廠商相比,徐州博康的顯著特色是光刻膠單體材料全部自供,光刻膠單體是光刻膠實現(xiàn)光刻膠功能最核心的原材料,是卡脖子材料中的卡脖子材料,徐州博康是中國目前唯一可以規(guī)?;a(chǎn)中高端光刻膠單體材料的企業(yè),2017年起,開始承擔(dān)國家863項目的國際02項目中的《193納米光刻膠的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化》,并于2019年正式被國家確定為光刻膠單體的國標(biāo)制定單位。

早些年中國半導(dǎo)體光刻膠企業(yè)的生存環(huán)境并不好,首先是受到國外的技術(shù)封鎖。從徐州博康董事長傅志偉的公開專訪中提到的一個小插曲便可見一斑。一次和美國、日本的兩家著名公司合作,由博康負責(zé)提供原材料,日本公司做下游產(chǎn)品,最后合成定制的產(chǎn)品供美國公司使用。三方約在日本開會。傅志偉介紹完了,美國人就直接說了一句“請中國人離場?!比毡救讼鄬Ρ容^客氣:“傅桑,請出去休息一下?!币驗樗麄円M行下一階段的技術(shù)討論?!拔覀兙偷酵饷嫒サ?,當(dāng)時就覺得很郁悶,有種很屈辱的感覺,在某些領(lǐng)域中國人是完全被排擠在外的?!备抵緜セ貞浾f,“可能平時大家交流的時候,也會聽說類似的事情。但當(dāng)我們置身其中時,那種民族情感是很強烈的?!苯?jīng)歷了這次事件,傅志偉和初創(chuàng)團隊就下定決心要做中國的光刻產(chǎn)品。事實上當(dāng)時國內(nèi)晶圓廠對國產(chǎn)材料替代的意愿也非常薄弱,在國內(nèi)客戶拓展方面也是困難重重。自從貿(mào)易戰(zhàn)以來,華為付出慘痛代價之后,國內(nèi)各界開始空前重視供應(yīng)鏈安全,下游客戶開始主動扶持國內(nèi)半導(dǎo)體材料供應(yīng)商,舉國體制加持下的半導(dǎo)體行業(yè)迎來黃金發(fā)展期。
最近幾年徐州博康也借助產(chǎn)業(yè)資本和政府的支持進入了快速發(fā)展階段,憑借光刻膠單體技術(shù)上的積累,公司目前已成功開發(fā)出10余個高端光刻膠產(chǎn)品系列,包括多種電子束膠、193nm ArF干法光刻膠、248nm KrF正負型光刻膠、365nm I線正負型光刻膠及GHI超厚負膠。公開資料顯示,徐州博康新建年產(chǎn)1100噸光刻材料及1萬噸電子溶劑新工廠已于2021年6月份正式投產(chǎn),項目全部達產(chǎn)后,可實現(xiàn)年產(chǎn)值20億元,這也是中國目前第一個可以規(guī)模化生產(chǎn)中高端光刻膠的生產(chǎn)基地。

近期某券商分析師與國內(nèi)某晶圓廠光刻膠負責(zé)人就國產(chǎn)ArF光刻膠產(chǎn)生觀點分歧,引發(fā)了廣泛的討論。對于國產(chǎn)化光刻膠目前的技術(shù)水平,國內(nèi)某晶圓廠光刻膠負責(zé)人認(rèn)為國內(nèi)在ArF這一領(lǐng)域基本是空白,“別扯ArF,沒一家能看的,各個都不敢來見我。事件本身只是證券分析師和實業(yè)專家看問題角度的區(qū)別,被一些為博取流量的自媒體斷章取義加工放大,無視國內(nèi)廠商近幾年取得的巨大進步,進行肆意詆毀。在目前美國對中國科技封鎖越來越嚴(yán)的外部大環(huán)境情況下,出現(xiàn)這一類文章實在不可取。KrF光刻膠目前華懋科技旗下徐州博康和彤程新材旗下北京科華均已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn),其中徐州博康的年產(chǎn)值20億的新基地經(jīng)過三年的建設(shè)和爬坡已于2021年6月份正式投產(chǎn)。爭議較大Arf光刻膠方面,目前徐州博康正在進行干法ArF光刻膠中測,濕法ArF光刻膠正在進行研發(fā)。北京科華正在進行干法ArF光刻膠研發(fā)。工業(yè)和信息化部原部長李毅中在2021新京報貝殼財經(jīng)夏季峰會上對于光刻膠和國產(chǎn)半導(dǎo)體材料和設(shè)備的評論,可以看作是權(quán)威和客觀的評論”光刻機大家很了解,光刻膠也依賴進口,市場潛力巨大,產(chǎn)業(yè)鏈完整,這個優(yōu)勢發(fā)揮的不夠好,應(yīng)該鼓勵優(yōu)先使用國產(chǎn)設(shè)備材料和芯片,只有在試用中才能夠試錯、改進和提高“

