| 自动跟踪工频陷波器的研究与设计 | |
| 所屬分類:技术论文 | |
| 上傳者:serena | |
| 標(biāo)簽: 工频陷波器 电子束曝光机 | |
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| 文檔介紹: 介绍了一种新型线性自动跟踪工频陷波器的电路结构。该陷波器应用于电子束曝光机束流测量电路中,用来抑制工频干扰对测量精度的影响。基于对自动跟踪陷波器的基本工作原理分析,陷波器采用了频率/电压转换器与压控带阻滤波器相结合的设计方案,成功地解决了工频频偏对常规工频陷波器滤波性能的严重影响问题。提出了提高抑制工频干扰能力的设计要点和电路调试方法。通过性能指标的测试和长期实际运行应用,证明陷波器满足了电子束测量中对工频干扰进行强抑制的要求,提高了电子束曝光机的制版质量。 | |
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