热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究
所屬分類：技术论文
上傳者：aetmagazine
文檔大?。?span>667 K
標(biāo)簽： 热场发射电子枪 电子束束流 电子束束斑
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文檔介紹：介绍了电子枪的分类与特点，重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用。阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系，并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响。研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响，并通过实验得出束斑与束流的关系。最后通过调整电子枪参数，制备了不同的光刻图形，满足了不同的光刻工艺要求，验证了分析的结论。
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