昨日，臺灣對臺南科學園區(qū)的擴廠案進行環(huán)評大會，其中涉及到了臺積電的3納米廠6000億元新臺幣的投資計劃。在8月15日的第一次審查中，由于臺積電承諾未來用電20%將用綠電，每日使用再生水7.3萬噸，專案小組一次審查就過關(guān)并決定今天環(huán)評大會將議決通過。

　　但南部環(huán)保組織對此頗有疑慮，認為臺積電各廠所用電力都來自高雄興達電廠，應先淘汰燃煤機組，改為燃氣才能減少空氣污染。專案小組只審查一次就通過太草率，有放水之嫌，所以應該重審。

　　今日的環(huán)評大會要求開發(fā)單位在三個月內(nèi)，補充和修正節(jié)能20%的具體措施和再生能源的完善日程及管控方式等，下次環(huán)評大會中再進行內(nèi)部討論。

　　本次的環(huán)評主要聚焦在臺南科學園區(qū)的擴廠后所增加的用水和用電問題，環(huán)委指出，因應臺積3nm設(shè)廠需要，南科臺南基地，每日用水量將由25萬噸增至32.5萬噸，溫室氣體排放量一年增加427萬噸，用電量則由222萬瓦增至299.5萬瓦；這意味著整個興達港的發(fā)電都要供給臺積電，要求臺積電必須說明未來電力的問題如何解決。

　　臺積電回應稱，預計2023年后陸續(xù)會有更多燃氣機組上來，可以滿足所有用電需求；臺南市政府則表示，近年臺南市在太陽能發(fā)電發(fā)展較多，最近幾年應該可以達到極大化，建議臺電未來可以將太陽能發(fā)電優(yōu)先調(diào)配。

　　最后環(huán)評大會決定，要求開發(fā)單位在2019年2月28日前補充意見、修正后，再提交環(huán)評大會進行內(nèi)部討論。

　　3nm將在2022年量產(chǎn)

　　臺積電作為世界級的處理器代工廠商，在近幾年的CPU工藝方面頗為激進，其10nm工藝正大規(guī)模量產(chǎn)中，并正加速推進7nm以及5nm的研發(fā)力度。不過除了這些，更為高端的3nm制程工藝也已經(jīng)曝光，據(jù)了解，臺積電計劃中的全球第一座3納米廠將耗資6000億元新臺幣，并在2020年動工，2022年開始量產(chǎn)。

　　目前臺積電的工廠一直以臺灣為大本營，其中10nm位于中科廠Fab 15五到六期；7nm位于七到九期，2018年量產(chǎn)；5nm則位于南科廠Fab 14九期，2019年下半年量產(chǎn)。而3nm臺積電則考慮赴美投資建廠，投資額高達5000億臺幣，主要原因是南科方面從提出投資方案到通過環(huán)評審核，至少需要5年時間，而且空氣質(zhì)量、電力供應都不夠達標。

　　3nm技術(shù)可以說已經(jīng)接近半導體工藝的物理極限，而其目前也處于實驗室階段，臺積電透露其正與設(shè)備廠商、材料供應商共同研究技術(shù)途徑。