說到集成電路，可能大多數人都是“一頭霧水”，不過，在我們生活當中可處處離不了它，計算機、互聯(lián)網、移動通訊、多媒體、手機、電視、相機、汽車等各個領域都必不可少。在相當長的一段時間里都只能從美日德等國進口。不過，記者日前從北京經濟技術開發(fā)區(qū)了解到，截至今年11月，中芯國際北京廠使用國產設備加工的12寸正式產品晶圓加工突破一千萬片次，這標志著國產設備在大生產中的充分驗證和市場化，國產設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階。

    北京經濟技術開發(fā)區(qū)有關負責人表示，區(qū)域的集成電路產業(yè)鏈布局為實現芯片制造設備國產化奠定了堅實基礎，目前，開發(fā)區(qū)已形成集制造、封測、裝備、零部件及材料、設計企業(yè)在內的完備產業(yè)鏈，集成電路產業(yè)規(guī)模占北京市的1/2。

　　12寸集成電路國產設備是實現我國集成電路芯片自主制造的基礎，設備要求高，系統(tǒng)復雜，相當長的一段時間內，主要由美日德等原設備供應商供應，國內沒有成熟的生產鏈。2008年，國家科技重大專項02專項組織“產學研”聯(lián)合開發(fā)，把目標直接定在世界上最先進的40納米和28納米技術節(jié)點，并由行業(yè)的龍頭企業(yè)來牽頭。

　　隨著專項的順利實施，集成電路生產制造關鍵設備實現國產化并為國產設備在中國集成電路產業(yè)鏈中的大面積應用打開了局面。2015年，中芯國際北京廠國產化生產設備進入晶圓產品量產階段，新增國產設備主機臺及附屬機臺數百臺，包括干法刻蝕機、物理氣相淀積設備、單片退火爐設備、單片清洗機、中束流離子注入機、化學氣相淀積設備、分片機設備等等。這些國產設備出色地通過了28納米-90納米技術節(jié)點的大生產線驗證，與進口設備肩并肩滿負荷生產。今年11月，中芯國際北京廠國產設備生產12寸晶圓突破“千萬大關”。

　　中芯北方副總經理張昕介紹說，大生產目標是完全正確的，但挑戰(zhàn)也是最大的，參與企業(yè)和科研單位從開發(fā)理念到管理方法都必須全面更新。在科研上，以往的探索式研究只需要單點突破，一百次嘗試有一次成功就可以宣告成功了。現在要提供大生產技術，必須一百次都成功，而且成功的結果還必須完全一樣，發(fā)散一點兒都不可以。在裝備的設計上，以往都是自己在實驗室里閉門造車，造成一個“鐵箱子”，然后搬到工廠里去，不行再搬回來改?，F在要預先知道生產的具體要求是什么，隨時改進，共同開發(fā)。

　　記者注意到，中芯國際北京廠使用的國產設備中，有相當一部分都產自開發(fā)區(qū)。拿與中芯國際北京廠“比鄰”的北方華創(chuàng)來說，其已成功開發(fā)了以刻蝕設備（ETCH）、化學氣相沉積設備（CVD）、物理氣相沉積設備（PVD）三大類半導體裝備產品為基礎的20余類產品，成功替代國外廠商同類產品。

　　北京經濟技術開發(fā)區(qū)投資促進局局長王延衛(wèi)介紹說，北京經濟技術開發(fā)區(qū)作為國內重要的集成電路產業(yè)基地，已形成集制造、封測、裝備、零部件及材料、設計企業(yè)在內的完備產業(yè)鏈。集成電路產業(yè)規(guī)模已經占到全市的1/2，率先在國內建成首條12英寸集成電路生產線，一批代表企業(yè)及研究機構承接了系列國家重大科技專項任務，在關鍵裝備及材料、先進工藝的開發(fā)及產業(yè)化等方面取得一批代表國家最高水平的成果，為我國集成電路產業(yè)實現自主發(fā)展奠定了堅實基礎，也確立了北京在全國集成電路產業(yè)布局中的領先地位。